【洁净等级】ISO5(100级Class100)/ISO4(10级Class10)【过滤器级别/过滤效率】HEPA/ULPA ≥99.995~99.999% @0.3μm【下降气流平均流速】0.33±0.025m/s【流入气流平均流速】0.53±0.025m/s【噪声】≤65dB(A)【振动峰值】≤5μm【气密度】300【重量】300Kg【照度】900Lx【接受非标定制】
